測量機器

• 高速LED光學特性儀 LE series
  

  產(chǎn)品信息 特 點 與產(chǎn)線的控制信號同步 通過光纖的自由的測試系統(tǒng) 實現(xiàn)最短2ms～的光譜測量（LE-5400） 同以往的產(chǎn)品相比，測量、演算、評價1個周期有可到半分鐘以下的高速機型 測量...
• 顯微分光膜厚儀 OPTM series
  

  測量項目：[膜厚、折射率n、消光系數(shù)k]. 測量原理：[分光干涉法]. 測量對象：[光刻膠、SiO2、Si3N4等]. 測量范圍：[1nm~92μm]....
• 膜厚量測儀 FE-300
  

  產(chǎn)品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學薄膜量測儀 藉由絕對反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000高端機種90%的強大功能 無復雜設定，操作簡單，短時...
• 嵌入式膜厚檢測儀
  

  產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專利 第4834847號） 使用光學光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
• 線掃描膜厚儀【在線型】
  

  采用線掃描方式檢測整面薄膜 硬件軟件均為創(chuàng)新設計 作為專業(yè)膜厚測定廠商，提供多種支援 實現(xiàn)高精度測量（已獲取專利） 實現(xiàn)高速測量 不受偏差影響 可對應寬幅樣...
• 分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3
  

  即時檢測 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測 采用分光干涉法實現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性 可進行高速...