- 產(chǎn)品信息
- 設(shè)備構(gòu)成
- 測量案例
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
●采用分光干涉法
●搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號)
●使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
●可嵌入至各種制造設(shè)備。
●實(shí)時(shí)測量膜厚
●可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量
●采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項(xiàng)目
●多層膜厚解析
用 途
●光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
●FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
●半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
●玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點(diǎn)型
●實(shí)時(shí)測量
●流向品質(zhì)管理
●真空室適用
導(dǎo)線型
●實(shí)時(shí)測量
●寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析