- 產(chǎn)品信息
- 式樣
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
●膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
●膜厚值高重復(fù)精度
●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量
●最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
●最適合圖案晶片的膜厚映射
●能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像
裝置組裝示意圖
測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖
測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像
適應(yīng)過(guò)程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
式樣
